In dieser Arbeit wurde die spezifische Leitfähigkeit von dünnen Lithium-Borat Schichten untersucht. Dazu wurden mit Hilfe der Ionenstrahlzerstäubung Li-Borat Glasschichten mit Dicken zwischen 7 und 700 nm hergestellt. Die spezifische Leitfähigkeit der Schichten wurde mit Hilfe der Impedanz-Spektroskopie untersucht. Wir haben gefunden, dass im Falle der extrem dünnen Schichten (< 100 nm) die spezifische Gleichstromleitfähigkeit der Schichten nicht mehr materialspezifisch, sondern stark dickenabhängig ist. Zusätzlich wurde in dieser Arbeit eine physikalische Interpretation für das sogenannte ‚Constant Phase Element’ (CPE) gefunden. Dieses empirische Element beschreibt die Deformation der Halbkreise im Nyquist Diagramm. In dieser Arbeit wurde ein Ersatzschaltbild gemäß dem CMR Model entwickelt, und dadurch eine physikalische Interpretation für das CPE beruhend auf der Ionendynamik vorgestellt.