Ziel dieser Arbeit war es, den Einfluss der chemischen Zusammensetzung von Festkörperoberflächen auf den quantitativen Elementnachweis in der resonanten und nichtresonanten Flugzeit-Laser-Sekundärneutralteilchenmassenspektrometrie zu untersuchen. Die chemische Zusammensetzung wurde bezüglich der enthaltenen Metalle sowie des Sauerstoffangebotes verändert. Neben monoelementaren Metallfolien der Elemente Ti, Fe, Cu und Gd wurden binäre Legierungen dieser Elemente untersucht. Sowohl in Abhängigkeit von der metallischen Matrix als auch in Abhängigkeit von dem Sauerstoffangebot konnten zum Teil signifikante Unterschiede in den relativen Empfindlichkeitsfaktoren festgestellt werden. Es zeigten sich Unterschiede zwischen Untersuchungen mit einem Farbstofflasersystem oder mit einem Excimerlaser. Des Weiteren konnten diese Unterschiede im Falle der Sauerstoffexposition qualitativ mit Verschiebungen in der Zusammensetzung des Flusses zerstäubter Sekundärteilchen in Zusammenhang gebracht werden.